Laser Scanning Confocal Microscopy

Laser Scanning Confocal Microscopy / 雷射共軛焦顯微鏡 [Keyence / VK X3050]

技術人員 黃先生 (05)2720411 轉 23340

E-mail : andy6031390626@gmail.com

指導教授 張國恩博士 (05)2720411 轉 33324

E-mail : imegec@ccu.edu.tw

儀器規格

1. 樣品尺寸：最大樣品高度 70 mm 、最大樣品尺寸直徑 318 mm、載台最大承重 3.0 kg
2. 樣品台最大位移行程：XY 軸 ± 35 mm、Z 軸 72 mm
3. 可用物鏡: 5 x、10 x、20 x、50 x、150 x
4. 高度量測顯示解析度: 0.5 nm
5. 測量雷射光源：波長661 nm、最大輸出功率0.9 mW
6. 測量品質: 最大解析度 2048 x 1536、掃描頻率: 4 Hz
7. 自動功能: 自動增益／自動對焦／自動上下限選擇／雙掃描亮度設定

功能說明

雷射顯微鏡 VK-X3000 系列可透過鏡頭，如顯微鏡般放大樣品進行觀察，並同
時對於觀察的樣品表面起伏進行測量、分析，集測量顯微鏡、輪廓形狀測量儀
、表面粗糙度測量儀之特長於一身的放大觀察、測量系統。

服務項目

1. 平面測量(點高度)量測
2. 粗糙度(線粗糙、複數線粗糙、表面粗糙)量測
3. 雷射膜厚與分光膜厚量測
4. 焦點變動影像合成
5. 表面輪廓分析
6. 體積面積量測

量側實例

•樣品輪廓及樣品3D模型