Laser Scanning Confocal Microscopy / 雷射共軛焦顯微鏡 [Keyence / VK X3050]

技術人員 黃先生   (05)2720411 轉 23340

E-mail : andy6031390626@gmail.com

指導教授 張國恩 博士   (05)2720411 轉 33324

E-mail : imegec@ccu.edu.tw

儀器規格

1. 樣品尺寸：最大樣品高度 70 mm 、最大樣品尺寸直徑 318 mm、載台最大承重 3.0 kg
2. 樣品台最大位移行程：XY 軸 ± 35 mm、Z 軸 72 mm
3. 可用物鏡: 5 x、10 x、20 x、50 x、150 x
4. 高度量測顯示解析度: 0.5 nm
5. 測量雷射光源：波長661 nm、最大輸出功率0.9 mW
6. 測量品質: 最大解析度 2048 x 1536、掃描頻率: 4 Hz
7. 自動功能: 自動增益／自動對焦／自動上下限選擇／雙掃描亮度設定

功能說明

雷射顯微鏡 VK-X3000 系列可透過鏡頭，如顯微鏡般放大樣品進行觀察，並同
時對於觀察的樣品表面起伏進行測量、分析，集測量顯微鏡、輪廓形狀測量儀
、表面粗糙度測量儀之特長於一身的放大觀察、測量系統。

服務項目

1. 平面測量(點高度)量測
2. 粗糙度(線粗糙、複數線粗糙、表面粗糙)量測
3. 雷射膜厚與分光膜厚量測
4. 焦點變動影像合成
5. 表面輪廓分析
6. 體積面積量測

量側實例

•樣品輪廓及樣品3D模型

 

•平面量測(點/線距離、圓弧半徑等)

•體積面積量測 (凹陷、突起部分體積)

•平面度量測 (基準區域之間的段差、最大高度、最小高度)

 

樣品準備

1. 平面測量(點高度)量測
2. 粗糙度(線粗糙、複數線粗糙、表面粗糙)量測
3. 雷射膜厚與分光膜厚量測
4. 焦點變動影像合成
5. 表面輪廓分析
6. 體積面積量測
 

預約注意事項

1. 平面測量(點高度)量測
2. 粗糙度(線粗糙、複數線粗糙、表面粗糙)量測
3. 雷射膜厚與分光膜厚量測
4. 焦點變動影像合成
5. 表面輪廓分析
6. 體積面積量測
 

放置地點

國立中正大學前瞻製造系統頂尖研究中心206室