α-step, KLA Tencor/Alpha step D-300

 / 薄膜厚度輪廓測量儀 

技術人員  劉承峰 (05)2720411#23340

E-mail: com299061111@gmail.com

指導教授  機械系 張國恩教授 (05)2720411#33324

E-mail: imegec@ccu.edu.tw 

   

 

儀器概述

藉由探針掃描試片表面之高低差異，利用感測器記錄針尖垂直運動訊號，經轉換與運算繪製剖面圖，進而得知膜厚與表面粗糙度。

 

儀器規格

1. 探針: 2 μm 60 deg / 5 μm 60 deg
2. 探針掃描速度:0.01 mm/s~0.4 mm/s
3. 樣品載台:直徑14 cm手動載台，可360度轉動
4. 最大掃描高度:1000μm
5. 最大掃描長度:30mm

 

服務項目

可由階差量測薄膜厚度或深度

 

取樣應注意事項

1. 樣品不可具有水分、毒性、腐蝕性、揮發性。
2. 試片尺寸直徑最大不超過8 cm、厚度2 cm 

 

預約注意事項

1. 使用本儀器，請於預約前先聯絡，並填寫申請表格。
2. 若因試片處理不當或儀器操作不當造成機台損壞或污染，須負賠償責任，賠償費用由原廠評估。
3. 探針抬升後，才可以移動工作平台。
4. 量測過程勿搖晃機台。
5. 試片換區域時皆需先抬針。
6. 自行操作上述各項儀器者，免收取儀器代工費用，僅收取儀器使用費。
7. 無法自行操作上述各項儀器者，需收取代工費用250元/時和儀器使用費。
8. 系上、機械系及奈米中心之儀器收費為校內收費之7折。
9. 數據存儲請自備光碟，如需空白光碟每片10元。

 

1em">放置地點

國立中正大學機械系實習工廠310室。

服務時間

每周開放代工時間為：週三10:00-17:00。

儀器預約單

國立中正大學光電奈米結構及元件實驗室量測預約申請單(LAB 307 Equipment Reserving Form)。