Spectroscopic Ellipsometer System /光譜式橢圓儀

[Mikropack, SpecEL-2000-VIS-NIR]

技術人員 余奕萱 小姐   (05)2720411 61413

E-mail : h80848@gmail.com

指導教授 周禮君 博士   (05)2720411 66411

E-mail : chelkc@ccu.edu.tw

 

 

儀器概述

SpecEL-2000為一種光譜式橢圓儀,其能在寬廣的光譜波長上量測到不同的偏光度對反射光強度關係。可量測波長範圍450nm ~ 1000nm,入射光點面積大小 300 x 600um,光源入射角度 : 70可偵測薄膜厚度 : 1nm ~ 10um (單層透明膜)

 

服務項目

量測透明薄膜厚度、折射率(n)及吸收率(k)值。

 

 取樣應注意事項

樣品大小要大於1cm×1cm

 

預約注意事項

需三天前預約,須更改時間要一天前告知,預約未到者,累積三次停權一個月。

 

放置地點

理學院二館413室。