Parylene coater / 聚對二甲苯鍍膜機台 [PDS-Model: 2010]

技術人員 葉紹榮 先生   (05)2720411 23341

E-mail : nttcps5212x320@gmail.com

指導教授 馮國華 博士   (05)2720411 33330

E-mail : imeghf@ccu.edu.tw



儀器概述

Parylene 的鍍膜原理為先將雙分子結構的固體原料加熱至汽化溫度,再進一步加熱至裂解溫度,使其熱分解成單分子。汽化後的單分子再進入至室溫下的沈積腔體內部,重新進行鍵結,而形成高分子結構沈積於待鍍物表面。多餘未沈積之氣體分子則進入冷卻槽中被吸附。所形成的薄膜可防止酸鹼溶解的腐蝕,雜質的污染及破壞。

服務項目

金屬、玻璃、聚合物材料,矽晶圓等材料的表面鍍膜。

鍍膜應注意事項

待鍍物應充分清潔,禁止含液體之樣本。機台鍍膜之結果會隨腔體使用時間及清潔狀況、鍍膜參數而有所差異。鍍膜材料請自備。

 

預約注意事項

1. 首次使用本儀器,請於預約前與技術人員接洽。 

2. 已完成預約者,請於使用前三個工作日,先行查詢儀器狀況。

 

放置地點

工學院二館530B室。